【技术特点】-- 亚纳米级三维扫描台

三维纳米定位工作台

亚纳米级三维定位工作台！

AU-NPS-XYZ系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计，使其达到纳米级的分辨率和重复性。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。灵活的模块化组合可以提供不同特点的三维微动台，满足不同类型的高分辨率的显微镜。

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AU-NPS-XYZ系列纳米三维维定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计，电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用，而且拥有极高的精度，可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。

该三维微动台采用超级不胀钢（因瓦合金）结构，其热膨胀系数极小达到0.3ppm K^-1，使热漂移达到最小，这对于纳米级的工作台来说是极其重要的。AU-NPS-XYZ系列微动台采用是由AU-NPS-XY-100A二维微动台与Z轴运动的一维微动台组合而成。因此三维微动台可以在X,Y方向可以分别提供100微米的闭环行程，在Z轴方向上可以提供15微米的闭环行程。而且可以提供四种不同的安装配置，使其满足不同的安放位置的需求。

AU-NPS-XYZ-100/Z15A 是由二维亚纳米扫描台AU-NPS-XY-100A与单轴Z向扫描台AU-NPS-Z-15A组合而成，因此该扫描台集合了二者的优势。在X轴和Y轴提供120微米的闭环行程，在Z轴提供16微米的行程，采用电容位移传感器，分辨率可达亚纳米级别。并且拥有极佳的线性和极低的迟滞。材质采用不胀钢，使其拥有极低的热漂移。

AU-NPS-XYZ-100/Z15H由AU-NPS-XY-100A和AU-NPS-Z-15H组合而成，因此这款三维扫描台性能与上一款性能相似。不同的是AU-NPS-Z-15H平台为中空的。

u 主要特点

l 亚纳米级的分辨率

l 高的带宽

l 高速响应

l 高的可靠性

l 结构紧凑

l 压电陶瓷驱动

l 柔性铰链设计

l 安装简单和简单的图像校准

l 电容位移传感器闭环反馈

l 迟滞/线性误差<0.005%

u 主要应用

高精度显微镜、投射显微镜、光学追踪、原子力显微镜、近场扫描光学显微镜、双光子显微镜等。

u 主要参数

型号 参数	AU-NPS-XYZ-100/Z15A	AU-NPS-XYZ-100/Z15H
XY轴
Material	Super Invar	Super Invar (Bright nickel plated)
Size (mm)	100 x 100 x 48	100 x 100 x 38.5
Range	Minimum	± 50	± 50
Typical	± 55	± 55
Maximum
Static stiffness (Typical)	1 N/μm	1 N/μm
Position noise (nm)	Fast	0.4	0.7
Medium	0.3	0.5
Slow	0.1	0.25
Linearity error (%)	Fast
Medium	0.01	0.01
Slow	0.02	0.02
Hysteresis (peak to peak) (%)	Fast
Medium	0.005	0.005
Slow	0.01	0.01
Z轴
Material	Super Invar	Super Invar
Range	Minimum	± 7.5	± 7.5
Typical	± 8.5	± 8.5
Maximum
Position noise (nm)	Fast	0.1	0.5
Medium	-	0.2
Slow	0.05	0.1
Linearity error (%)	Fast
Medium	0.01	0.01
Slow	0.02	0.02

【技术特点对用户带来的好处】-- 亚纳米级三维扫描台

【典型应用举例】-- 亚纳米级三维扫描台