压电促动器（亚纳米级）参数指标

压电促动器（亚纳米级）

高分辨率！亚纳米级压电促动器！

AU-DPT、AU-MTP和AU-NPS-Z系列为高分辨率的直线压电陶瓷促动器。在126mm的行程中可达到亚纳米分辨率，并且拥有极高的线性度和近乎完美的重复性。该系列压电陶瓷促动器无摩擦，已加载预紧力，弥补了叠堆式压电陶瓷不能承受拉力的不足的同时可提供较大的推力，在120mm的行程中可推力可达到600N。

压电促动器、叠堆压电陶瓷促动器、带预紧陶瓷堆叠式压电促动器、柔性机构促动器、Nanopositioning Actuator/Translator

压电促动器采用以加预载力的堆叠式压电陶瓷，在提供较大推力的同时还可以承受一定的压力，弥补了堆叠式压电陶瓷不能承受压力的不足。上海昊量光电设备有限公司推出的压电促动器拥有极高的分辨率，在126mm的行程中可达到亚纳米分辨率，并且拥有极高的线性度和近乎完美的重复性。

上海昊量光电设备有限公司推出的压电陶瓷促动器主要包含以下几类：

①闭环高精度压电陶瓷促动器

闭环压电促动器主要包括AU-DPT-D、AU-DPT-E、AU-NPS-Z-15B和AU-NPS-Z-15L这几款产品。

AU-DPT-D是一款内置电容反馈系统的压电促动器，使其拥有亚纳米的分辨率，并且拥有极高的线性度和近乎完美的重复性，极低的蠕变特性和迟滞性。AU-DPT-D可提供30/50/70/110mm四种不同的闭环行程，材质为不胀钢（0.35nm/K CTE）具有很好的热稳定性。内置预载力的堆叠式压电陶瓷，在整个行程中可提供高达60kg的移动质量，并且有较低的电子噪声和高的线性度。此外还提供超高真空版本，工作压强范围可从10 ^-3  到 10 ^-10 Torr。