产品简介

DMD无掩膜光刻机

高速、广范围、低价格DMD式无掩膜光刻机！

AU-PALET光刻机是一款紧凑的DMD式无掩膜光刻机拥有高速、广范围、低价格、高分辨率、操作简单和可靠性高等特点。

DMD式无掩膜光刻机无需制造掩膜，采用DMD数字掩膜,可在抗蚀剂内曝光所希望的任意图案。无掩膜光刻机可以读取任何CAD数据，除此之外DMD式无掩膜光刻机还可以读取Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等其它格式。DMD式无掩膜光刻机使用365nmLED光源，降低价格的同时实现了稳定的曝光。采用10倍物镜，一次曝光面积可达1mm′0.6mm，曝光时间仅需1s。结合电动移动平台，可实现曝光拼接，分辨率可达到3mm。可通过公司编写的软件完成详细设定，使操作简洁方便。

与传统的光刻机不同，AU-PALET光刻机采用DMD数字掩膜光刻技术，无需制造掩膜。大大降低了时间和成本。无掩膜光刻机可以读取任何创建的CAD文件，直接进行光刻。除了CAD文件，还可以读取丰富的其它格式的数据，例如Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等。