德国TEM公司研发的4D PSD位敏探测器，采用两个2D PSD探测器与相关光学元件的有机组合，能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移，分辨率达到nm级别。

关键词：PSD，位置探测器，激光位置探测器，位置灵敏探测器，光电位置探测器， 位置敏感探测器，四象限探测器，位置传感探测器，置灵敏探测器，2D PSD，Position Sensitive Detector，激光位置探测器

PSD位敏探测器