纳米级高速大行程压电马达平移台

AU-XLS系列压电马达线性平移台拥有独特的特点。该平移台是一款兼具大行程和高精度的压电马达位移平台。

该平移台采用无声的超声波马达，超声波马达是通过一个耦合元件抵住移动导向转子，在高频电流下压电陶瓷促动器被激发产生超声波振动，促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动，每个循环的进给为几个纳米，高频的信号，可以使转子高速的运动。因此AU-XLS系列压电马达平移台的最大速度可达到400mm/s。

理论上压电马达平移台的行程仅取决于转子的长度，因此AU-XLS系列位移平台可提供的行程范围可达94mm，采用线性编码器位置传感器闭环控制，使位移平台的位移分辨率可达到78nm，在满足大行程的同时实现了高的精度。由于压电陶瓷已经加载了预加力，因此断电之后平移台会有自锁功能，使位移平台依然保持在原位。这样可以减少了能源的消耗和产热量，提高了位移平台的精度。