技术特点
·从SEM (SEI和BEI) 获得形貌和平均原子数
·从EDS分析获得元素成分
·从拉曼光谱获得化学成分和物质鉴定
·从拉曼光谱获得物理结构(晶体的及力学数据)
·从阴极发光 (CL) 和光致发光 (PL) 获得电子及物理结构信息