【技术特点】-- 全自动 台阶仪

特点 ：

探针台阶仪是利用探针扫描样品表面，仪器记录探针随样品表面高低起伏状态，整合数据得到台阶高度，表面形貌，沟槽深度等特征。

双模式操作（针尖扫描和样品台扫描)

针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，

三维扫描范围从150mm X 150m

样品台扫描扫描范围到100mm

纳米级抛光光学参考平晶

实时彩色光学照相机直接观测
双光学传感器 纵向测量范围最大至1000um，最小到分辨率0.1nm
恒定微力接触 最小0.03mg
简单友好的人机操作界面

【技术特点对用户带来的好处】-- 全自动 台阶仪

【典型应用举例】-- 全自动 台阶仪