【技术参数】
分辨率:3.0nm@ 30KV(SE and W) 4.0nm@ 30KV(VP with BSD)
加速电压:0.2—30KV
放大倍数:5—1000000x
探针电流:0.5PA-5μA
X-射线分析工作距离:8.5mm 35度接收角
压力范围:10—400Pa (LS15:环扫模式10-3000Pa)
工作室:365mm(φ)×275mm(h)
5轴优中心自动样品台:X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10°- 90°°R=360°
zei大试样高度:145mm,zei大试样直径:250mm
系统控制:基于Windows 7 的SmartSEM操作系统