【技术特点】-- ESS03 波长扫描时式 多入射角光谱椭偏仪

技术特点：

• 极宽的光谱范围

  采用宽光谱光源、宽光谱扫描德系统光学设计，保证了仪器在极宽的光谱范围下都具有高准确度，非常适合于对光谱范围要求极其严格的场合。

• 灵活的测量设置

  仪器的多个关键参数可根据要求而设定（包括：波长范围、扫描步距、入射角度等），极大地提高了测量的灵活性，可以胜任要求苛刻的样品。

• 原子层量级的检测灵敏度

  国际先进的采样方法、高稳定的核心器件、高质量的设计和制造工艺实现并保证了能够测量原子层量级地纳米薄膜，膜厚精度达到0.05nm。

• 非常经济的技术方案

  采用较经济的宽光谱光源结合扫描单色仪的方式实现高光谱分辨的椭偏测量，仪器整体成本得到有效降低。

【技术特点对用户带来的好处】-- ESS03 波长扫描时式 多入射角光谱椭偏仪

【典型应用举例】-- ESS03 波长扫描时式 多入射角光谱椭偏仪