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Phenom Pro | Phenom ProX | Phenom Pure | |
| 光学放大 | 27 - 160 X | 27 - 160 X | 27 X |
| 电子光学放大 | 350,000 X | 350,000 X | 175,000 X |
| 分辨率 | 优于 6 nm | 优于 6 nm | 优于 10 nm |
| 光学导航相机 | 彩色 | 彩色 | 黑白 |
| 加速电压 | 4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 | 4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 | 5 kV 和 10 kV |
| 真空模式 | 高分辨率模式 降低荷电效应模式（可选） | 高分辨率模式 降低荷电效应模式（可选） | 高分辨率模式 降低荷电效应模式（可选） |
| 探测器 | 背散射电子探测器 二次电子探测器（选配） | 背散射电子探测器 二次电子探测器（选配） | 背散射电子探测器 二次电子探测器（选配） |