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| Phenom GSR | |
| 光学放大 | 3 - 16 X |
| 电子光学放大 | 80 - 100,000 X |
| 分辨率 | 优于 20 nm |
| 数字放大 | Max. 12 X |
| 光学导航相机 | 彩色 |
| 加速电压 | 4.8 Kv - 20.5 Kv 连续可调 |
| 真空模式 | 高分辨率模式 |
| 降低核电效应模式 | |
| 高真空模式 | |
| 探测器 | 背散射电子探测器 |
| 二次电子探测器 (选配) | |
| 样品尺寸 | zei大 100 mm X 100 mm |
| 可同时装载 36 个 0.5 英寸样品台 | |
| 样品高度 | zei高 65 mm，样品高度全自动调节 |
Phenom GSR | |
| 光学放大 | 3 - 16 X |
| 电子光学放大 | 200,000 X |
| 分辨率 | 优于 10 nm |
| 光学导航相机 | 彩色 |
| 加速电压 | 4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
| 真空模式 | 高分辨率模式 降低核电效应模式 高真空模式 |
| 探测器 | 背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) |