D07-19CM型质量流量计_ 参数_指标_优点_优势_分析测试百科网 - 分析测试百科网

返回 D07-19CM型质量流量计

参数指标

满量程流量范围（N₂）		5SCCM～30SLM
控制范围		2～100％F.S.
准确度	≤10SLM	±1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
线性	≤10SLM	±0.5～1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
重复精度		±0.2％F.S.
响应时间		≤1sec
温度系数		Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃
工作温度范围		5～45℃
工作压差		＜0.02MPa
耐压		10MPa
漏气率		1×10^-9SCCSHe
密封材料		氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
接头选择	VCR	1/4”或φ4hose、φ6hose
	Swagelok	1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
电插头形式		DB15 pin(Male)
抗电磁干扰		CE
重量		1Kg

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