台面尺寸

300mm x 300mm

行程

170mm x 170mm

导轨

交叉滚柱导轨

螺杆导程

4mm

分辨率

0.001mm

重复定位精度

±0.001mm

绝对位置精度

±0.003mm

直线度

＜0.015mm

平行度

＜0.015mm

正交度

＜20″

最大速度

100mm/sec

标配电机

200W伺服电机

承载

100Kg