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| Microwriter ML3 | 基本型 | 增强型 | 旗舰型 |
| 最大样品尺寸 | 155×155×7mm | 155×155×7mm | 230×230×15mm |
| 最大直写面积 | 149mm x 149mm | 149mm x 149mm | 195mm x 195mm |
| 曝光光源 | 405 nm LED 1.5W | 405 nm LED 1.5W | 385 nm LED 适用于SU-8 （365+405nm双光源可选） |
| 直写分辨率 | 1μm | 1μm and 5 μm | 0.6μm, 1μm, 2μm, 5μm |
| 直写速度 | 20mm2/min @ 1μm | 20mm2/min @ 1μm 120mm2/min @ 5μm | 25mm2/min @ 0.6μm 50mm2/min @ 1μm 100mm2/min @ 2μm 180mm2/min @ 5μm |
| 对准显微镜镜头 | x10 | x3 and x10 自动切换 | x3, x5, x10, x20 自动切换 |
| 多层套刻精度 | ±1μm | ±1μm | ±0.5μm |
| 最小栅格精度 | 200nm | 200nm | 100nm |
| 样品台最小步长 | 100nm | 100nm | 50nm |
| 光学轮廓Z分辨率 | 无(可升级) | 300nm | 100nm |
| 样品表面自动对焦 | 是 | 是 | 是 |
| 灰度直写(255级) | 是 | 是 | 是 |
| 自动晶片检查工具 | 无(可升级) | 有 | 有 |
| 温控样品腔室 | 无 (可升级) | 无 (可升级) | 有 |
| 虚拟模板校准工具 | 无(可升级) | 无(可升级) | 有 |
| 气动减震光学平台 | 无(可升级) | 无(可升级) | 有 |
参考成交价格：