主要技术指标
1、温度控制指标
● 温控区域:6路
● 温控范围:室温以上4℃~450℃,增量: 1℃, 精度:±0.1℃
● 程序升温阶数:16阶
● 程升速率:0.1~80℃/min(高速型)
2、压力流量控制指标
● 压力、流量测量:指针式压力表方式、电子压力流量方式
● 全电子气体压力、流量测量系统:单模块最大测量路数:16路
● EPC、EFC工作模式:3种;恒流模式、恒压模式、分流模式
● EPC、EFC工作气体:4种;氮气、氢气、空气、氦气
● EPC、EFC程升:4阶
● EPC、EFC控制量程:压力:0~0.6Kpa;流量0~100sccm或
0~500sccm(空气);
● EPC、EFC控制精度:压力0.01Kpa;流量0.01sccm;
● 压力传感器:
准确度:满量程的<±2%
重现性:<±0.05 KPa
温度系数:<±0.01 KPa/°C
量程:0~0.3KPa或0~0.6KPa;
● 流量传感器:
准确度:满量程的<±5%
重现性:<±0.5%(满量程)
量程:0~500sccm
3、检测器技术指标:
氢火焰离子化检测器(FID)
● 检测限:Mt≤5×10-11g/s (正十六烷);
● 噪音:≤1×10-12A
● 漂移:≤1×10-11A/30min
● 线性范围: ≥106
● 最高使用温度:≤450℃
热导检测器(TCD)
● 灵敏度:S≥2000mV.ml/mg(C6H6)(可放大1、2、4、8倍)
● 噪声:≤0.1mv
● 基线漂移:≤0.2mv/30min
● 线性范围: ≥104
电子捕获检测器(ECD)
● 检测限:≤3×10-14g/s(-666)
● 噪声:≤0.1mV。
● 基线漂移:≤0.3mV/30min; ● 线性范围:104
火焰光度检测器(FPD)
● 检测限:Mt≤2×10-11g/s(甲基对硫磷中的硫);
● 噪声:Rn≤50uv;
● 基线漂移:Rd≤20uv/30min;
●线性范围:≥105
氮磷检测器(NPD)
●Mt≤8×10-13g/s(偶氮苯);≤5×10-13g/s(马拉硫磷);
● 噪声:Rn≤2×10-12A;
● 基线漂移:Rd≤2×10-13A/30min;
● 线性范围:≥105