NanoCalc薄膜反射光谱...
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NanoCalc 薄膜反射测量系统

薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量,对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同,可以分析单层或多层膜厚。

产品特点

可分析单层或多层薄膜
分辨率达0.1nm
适合于在线监测
操作理论

zei常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。

查找n和k值

可以进行多达三层的薄膜测量,薄膜和基体测量可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了大多数材料的n和k值数据库,用户也可以自己添加和编辑。

应用

NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚和去除率测量,包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。

NanoCalc系统

NC-UV-VIS-NIR
重量: 250-1100 nm
厚度: 10 nm-70 µm
光源: 氘卤灯

 

NC-UV-VIS
重量: 250-850 nm
厚度: 10 nm-20 µm
光源: 氘卤灯

 

NC-VIS-NIR
重量: 400-1100 nm
厚度: 20nm-100µm (可选1µm-250µm)
光源: 卤灯

 

NC-VIS
重量: 400-850 nm
厚度: 50 nm-20μm
光源: 卤灯

 

NC-NIR
重量: 650-1100 nm
厚度: 70 nm-70μm
光源: 卤灯

 

NC-NIR-HR
重量: 650-1100nm
厚度: 70 nm-70μm
光源: 卤灯

 

NC-512-NIR
重量: 900-1700 nm
厚度: 50 nm-200μm
光源: 高亮度卤灯

 

NanoCalc规格

入射角: 90°
层数: 3层以下
需要进行参考值测量:
透明材料:
传输模式:
粗糙材料:
测量速度: 100ms - 1s
在线监测: 可以
公差(高度): 参考值测量或准直(74-UV)
公差(角度): 参考值测量
微黑子选项: 配显微镜
显示选项: 配显微镜
定位选项: 6“和12“ XYZ 定位台
真空: 可以

 

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