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| 项目 | AFM100 |
| 检测系统 | 光杠杆法 SLD（超辐射发光二极管） |
| 样品架 | 预安装支架※、多支架※ |
| 基本规格 | RMS噪音水平：≦0.03 nm、基线漂移：≦0.03 nm/sec |
| 样品尺寸 | 最大35 mmφ、厚度10 mm、选配扩展时（最大50 mm方形、厚度20 mm）※ |
| 扫描器（扫描范围）※ | （XY：20 µm／Z：1.5 µm、XY：100 µm／Z：15 µm、XY：150 µm／Z：5 µm）※（5年保修） |
| 光学显微镜 | 普通光学顕微鏡 （视野XY:1.6×1.2 mm） |
| 基本功能 | AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形状 |
| 隔振・隔音方式 | 桌上型隔振台 |
| 样品载物台 | 手动载物台 XY：±2.5 mm、移动载物台（导电型）※ |
| 测试环境 | 空气、液体※、加热※（室温～250℃）、液体加热※（室温～60℃） |
| 其他功能 | 自检功能、软件下载服务、AFM标记※ |
| 电源规格 | AC 100 V±10 V、15 A、1系统、D种接地 接地插座 |