光学平台参数指标

性能指标：

主要性能指标

1.光学平台。长：3000mm；宽：1500mm；台面厚度：250mm；高：800mm；长宽高误差均不超过5%。

2.载荷能力：不小于1200kg          

3.固有频率垂直方向：≦5Hz ；水平方向：≦5Hz。

4.最大动挠度系数：≦2.2×10-3    

5.最大相对位移：≦0.58nm。

6.台面平面度：≦0.02-0.05mm/m2 ;

7.台面螺孔距：25mm (误差不超过5%)  孔径：M6。

8.防振系统;四个方形钢管支撑内,内置四点高分子橡胶阻尼隔振装置支撑架。调平方式：手动调平

9.台面板材质：   10mm厚1Cr17高导磁不锈钢加工制造，成品厚＞9.5mm

10.台体内状结构： 台体内部蜂窝状钢质结构， 内部全部精加工无毛刺，无残余加工油渍，干净整洁

11.台体底板材质,  8mm厚Q235钢板，底面防锈处理

12..台体总厚度,    250mm          

13..台面离地高度   800mm，正负20mm调节

14.台体内状结构：台体内部蜂窝状钢质结构， 内部全部精加工无毛刺，无残余加工油渍，干净整洁

15. 振 幅：≤1.2um ;

16. 台面平整精度：0.05mm/m2 ;

17. 表面光洁度： ≤0.8 ～1.2um

18.台面状态：表面、四周精密研磨，光滑平整