加热方式：

石英灯：温度最高600℃，可兼容4英寸、6英寸样品台，可兼容多数气氛。

CCC碳化物：500℃以上需求的常选方案，温度可达1000℃，适用于非氧气环境。

SiC保护的碳材料：兼容氧气氛围与多数气体氛围的增强型加热材料。

主要特点：

◎  高精度气氛自动控制

◎  4英寸、6英寸样品台

◎  最高1000℃的加热温度

◎  本底真空<5×10^-7 mbar

◎  简单快速取样

◎  设定、保存多个热处理程序

◎  完备的安全性设计

◎  易于维护

◎  兼容超净室

◎  稳定的性能表现

系统选件：

◎  4英寸、6英寸样品台

◎  石英灯加热系统

◎  电阻式加热系统

◎  流量计精确控制

◎  分子泵、机械泵真空系统

◎  气压全自动控制系统