测量达到20 nm和1.7μM.点传感器满足多种测量任务的光斑直径的垂直精度，不论表面超光滑或粗糙。宽动态范围意味着测量仍然是错误的，即使反射性能有很大的不同。该配置文件可以可靠地再现，即使在低反射。高的侧面角度高达70的测量没有问题。