技术参数：
1、扫描方式：针尖扫描 

2、分辨率： XY方向＜5nm、Z方向＜1nm 

3、扫描范围: XY方向70um、Z方向70－120um，另外有30um和10um扫描器选配 

4、扫描步进：70um扫描器＜1nm、10um扫描器＜0.1nm 

5、扫描器厚度：7mm；重量：75克 

6、最大样品尺寸：半径16mm，另根据客户需求可以选配任何合理尺寸；