技术参数：
1、扫描范围: XY方向70um、Z方向5um，另外有10um扫描器选配 

2、扫描步进：70um扫描器＜1nm，10um扫描器＜0.1nm 

3、最大样品尺寸：15mm×15mm 

4、反馈机制：光束偏转 

5、操作模式：接触式，非接触式，敲击式 

6、探针类型：可使用Nanonicszl的玻璃探针、电学热学探针、Nanopen 等；同时也可使用通用的AFM探针