针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量

·        SMART Acquire简化了采集模式并采用已知最佳的程序设置的测量范围输入

·        Z-stitching干涉技术采集模式，可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面

·        XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描

·        使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建，实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性

·        利用已知最佳技术，从其他探针和光学轮廓仪转移算法