P-7 台式探针式轮廓仪技术特点

【技术特点】-- P-7 台式探针式轮廓仪

P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。

主要功能

· 台阶高度：几纳米至1000μm

· 微力恒力控制：0.03至50mg

· 样品全直径扫描，无需图像拼接

· 视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

· 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

· 软件：简单易用的软件界面

· 生产能力：通过测序，模式识别和SECS / GEM实现全自动化

主要应用

· 台阶高度：2D和3D台阶高度

· 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

· 形状：2D和3D翘曲和形状

· 应力：2D和3D薄膜应力

· 缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌

【技术特点对用户带来的好处】-- P-7 台式探针式轮廓仪

【典型应用举例】-- P-7 台式探针式轮廓仪