产品型号

CIF-TEM

真空泵

Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵

最大入口压力1.0个大气压（0psig），最大出口压力1.4个大气压（6.5psig）

最高抽速60L/min，极限真空3.3 x 10-1 mbar

KF16入口接口

等离子电源

两种等离子体清洗源，原位等离子源和远程等离子源，自动匹配器

13.56MHz等离子RF电源，5-100W可调

清洗室

清洗室尺寸(长X宽X高)150X150X150mm

最多可放置3路TEM hoder，可清洗FEI、JOEL等TEM品牌样品杆

气体控制

美国MKS数字真空计

两路清洗气体控制，可以外接如Ar或O2等清洗气体

控制方式

7寸全彩触摸屏操控方式，人机互动界面

冷却方式

风冷

电源

电源220V、50/60Hz

质量保证

二年免费，终身维护