行程范围
50 mm
最大速度
20 mm/s
最小位移增量
300 nm
中心负载
200 N
轴向负载 (+Cx)
50 N
逆轴向负载 (-Cx)
-10 N
精度,典型值
±1.2 μm
精度,保证值
±2.5 μm
单向重复精度,典型值
±0.20 μm
单向重复精度,保证值
±0.50 μm
双向重复精度,典型值
±2.2 μm
双向重复精度,保证值
±3.0 μm
俯仰,典型值
±17 μrad
俯仰,保证值
±37 μrad
俯仰顺应性
15 μrad/Nm
偏摆,典型值
±12 μrad
偏摆,保证值
±25 μrad
偏摆顺应性
15 μrad/Nm
滚转顺应性
10 μrad/Nm
驱动方式
Stepper Motor
原点重复精度
±2.5 μm
电缆长度
3 m
真空兼容性
No
螺纹类型
M4 and M6
重量
2.9 kg
MTBF
20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
RoHS
Compliant
最大耗电量
20 W
兼容XPS-RL 驱动模块
XPS-DRV01
兼容XPS-D驱动模块
XPS-DRV11
ESP301兼容性
Yes
SMC100兼容性
SMC100PP
行程要求
50 to 500 mm
MIM Requirement
100 to 500 nm
Speed Requirement
Less than 50 mm/s
Load Capacity Requirement
100 to 500 N