Newport高精度线性平...
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技术参数:

型号
GTS70

GTS150
行程范围70 mm150 mm
最大速度50 mm/s50 mm/s
最小位移增量100 nm100 nm
中心负载100 N100 N
轴向负载 (+Cx)25 N20 N
逆轴向负载 (-Cx)-25 N-20 N
精度,典型值±0.30 μm±0.50 μm
精度,保证值±1.0 μm±1.0 μm
双向重复精度,典型值±0.06 μm±0.08 μm
双向重复精度,保证值±0.10 μm±0.10 μm
俯仰,典型值±15 μrad±30 μrad
俯仰顺应性10 μrad/Nm5 μrad/Nm
偏摆,典型值±15 μrad±25 μrad
偏摆顺应性10 μrad/Nm5 μrad/Nm
滚转顺应性10 μrad/Nm5 μrad/Nm
原点重复精度±0.05 μm±0.05 μm
电缆长度3 m3 m
重量2.7 kg3.6 kg
MTBF20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHSCompliantCompliant


产品特征:

精密编码器反馈

使用具有 50 nm 超高分辨率的光学标度,可降低传动系统误差。读头的固定设计减少了其内部电缆移动的麻烦。

防蠕动式交叉滚子轴承

为了确保最精确的轨迹控制,GTS 平移台具有配套的同类最佳防蠕动式交叉滚子轴承对。这些轴承中没有再循环元件,因此可以为最苛刻的扫描和检测系统提供充足的无波纹运动。而且,齿轮保持架会防止轴承罩移位,其他直线轴承产品可能出现此类移位。



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