波长扫描式多入射角光谱椭偏仪_ 参数_指标_优点_优势_分析测试百科网

参数指标

项目	技术指标
光谱范围	ESS03VI：370-1700nmESS03UI：245-1700nm
光谱分辨率（nm）	可设置
入射角度	40°-90°手动调节，步距5，重复性0.02
准确度	δ(Psi): 0.02 ° ,δ(Delta): 0.04° （透射模式测空气时）
膜厚测量重复性^（1）	0.05nm (对于平面Si基底上100nm的SiO₂膜层)
折射率n测量重复性^（1）	0.001(对于平面Si基底上100nm的SiO₂膜层)
单次测量时间	典型0.6s / Wavelength / Point（取决于测量模式）
光学结构	PSCA（Δ在0°或180°附近时也具有极高的准确度）
可测量样品zei大尺寸	直径200 mm
样品方位调整	高度调节范围：10mm
样品方位调整	二维俯仰调节：±4°
样品对准	光学自准直显微和望远对准系统
软件	•多语言界面切换
	•预设项目供快捷操作使用
	•安全的权限管理模式（管理员、操作员）
	•方便的材料数据库以及多种色散模型库
	•丰富的模型数据库
选配件	自动扫描样品台聚焦透镜

注：(1)测量重复性：是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。