极致型多入射角激光椭偏仪（光伏专用）_ 参数_指标_优点_优势

参数指标

技术指标：

项目	技术指标
仪器型号	EMPro-PV
版本号	31
激光波长	632.8nm (He-Ne Laser)
膜厚测量重复性^（1）	0.01nm (对于平面Si基底上100nm的SiO₂膜层)
膜厚测量重复性^（1）	0.03nm (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层)
折射率精度^（1）	1x10^-4(对于平面Si基底上100nm的SiO₂膜层)
折射率精度^（1）	3x10^-4 (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层)
单次测量时间	与测量设置相关，典型0.6s
结构	PSCA（Δ在0°或180°附近时也具有极高的准确度）
激光光束直径	1mm
入射角度	40°-90°可手动调节，步进5°
样品方位调整	一体化样品台轻松变换可测量单晶或多晶样品；
	可测量156*156mm电池样品上每个点
	Z轴高度调节：±6.5mm
	二维俯仰调节：±4°
	样品对准：光学自准直显微和望远对准系统
样品台尺寸	平面样品直径可达Φ170mm
样品台尺寸	兼容125125mm和156156mm的太阳能电池样品
zei大的膜层测量范围	粗糙表面样品：与绒面物理结构及材料性质相关
zei大的膜层测量范围	光滑平面样品：透明薄膜可达4000nm，吸收薄膜与材料性质相关
zei大外形尺寸(长x宽x高)	887 x 332 x 552mm (入射角为90º时)
仪器重量（净重）	25Kg
选配件	水平XY轴调节平移台
选配件	真空吸附泵
软件	ETEM软件：
	l 中英文界面可选
	l 太阳能电池样品预设项目供快捷操作使用
	l 单角度测量/多角度测量操作和数据拟合
	l 方便的数据显示、编辑和输出
	l 丰富的模型和材料数据库支持

注：(1)测量重复性：是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量25次所计算的标准差。

性能保证：

高稳定性的He-Ne激光光源、先进的采样方法以及低噪声探测技术，保证了高稳定性和高准确度
一体化样品台技术，兼容单晶和多晶硅太阳电池样品,轻松变换可实现准确测量
高精度的光学自准直显微和望远系统，保证了快速、高精度的样品方位对准
新型样品调节技术，有效提高样品定位精度，并节省操作时间
新型光电增强技术和独特的噪声处理方法，显著降低生产现场噪声的影响
一体化集成式仪器整体设计，保证了系统稳定性，并节省空间
分立式的多入射角选择，可应用于复杂样品的折射率和绝对厚度的测量
一键式软件设计以及丰富的物理模型库和材料数据库，方便用户使用

可选配件：

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