手动椭圆偏振测厚仪
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技术指标

项目

技术指标

仪器型号

EX1

测量方式

手动

样品放置方式

水平放置

光源

He-Ne激光器,波长632.8nm

探测光束直径

Φ2-3mm

入射角度

30°-90°,误差0.1°

偏振器方位角读数范围

0-360°

偏振器刻度

2°/格

偏振器zei小读数

0.05°

样品方位调整

Z轴高度调节:10mm

二维俯仰调节:±

允许样品尺寸

样品直径可达Φ80mm

配套软件

* 多个测量项目选择

* 测量数据分析、计算、输入输出

zei大外形尺寸

约400*400*250mm

仪器重量(净重)

20Kg

选配件

* 半导体激光器

 注:(1)测量重复性:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。

性能保证

  • ISO9001国际质量体系认证下的仪器质量保证

  • 专业的椭偏测量原理课程讲授

  • 专业的仪器使用培训


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