伯东离子蚀刻机NS
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离子蚀刻机 20-M/NS-8 主要技术参数：

基片尺寸

直径 3英寸 X 8片
直径 4英寸 X 6片

样品台

直接冷却

离子源

20cm 考夫曼离子源

电源

WELL-5000(可更换为国内电源



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