紫外臭氧清洗机(UVO),是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。
CIF紫外臭氧清洗机采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯,样品台高度可调并可选加热控温,以便达到最佳清洗效果。
产品特点
可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制。
数字倒计时显示清洗时间,1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
任何时间可以手动中断处理过程。
自动记录之前清洗参数设置。
样品台可控温(可选),控温范围RT-260℃,控温精度0.1℃。
上置式样品台设计,360度自由放置样品,操作方便。
样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,位置可锁定。
UV石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000小时。
高强度UV灯源,波长185nm和254nm。
UV反射罩(长X宽)比UV格栅灯大2.5cm,比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。
双重安全保护,当清洗腔打开时,系统安全锁会关掉UV灯,并有灯光通断提示。
带进&出气口双气路设计,可接入氧气,增加臭氧产量。
可选臭氧中和器,用于臭氧清除。
可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。