UniScan M470 微区扫描电化学工作站，第四代扫描探针系统参数指标

电位精度：1uV

恒电位范围：30V

电流范围：1pA - 10A

交流阻抗频率范围： 10uHz-7MHz

电流精度：0.0033%

M470技术参数

工作站（所有技术）

扫描范围（x,y,z）              大于100nm

扫描驱动分辨率                 高达0.1nm

闭环定位                           线性零滞后编码器，直接实时读出x,z和y位移

轴分辨率（x,y,z）             20nm

最大扫描速度                    12.5mm/s

测量分辨率                       32-bit解码器@高达40MHz

压电（ic-和ac-扫描探针技术）

振动范围                          20nm~ 2μm峰与峰之间1nm增量

最小振动分辨率                0.12nm(16-bit DAC,4μm)

压电晶体伸展                   100μm

定位分辨率                      0.09nm(20-bit DAC ,100μm)

机电

扫描前端                         500×420×675mm(H×W×D)

扫描控制单元                  275×450×400mm(H×W×D)

功率 250W