JEM-ARM200F NEOARM 原子级分辨率透射电子显微镜参数指标

参数指标

分辨率^*1	STEM HAADF 图像:　70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)、160 pm (30 kV) TEM 信息分辨率:　100 pm (200 kV)、110 pm (80 kV)、250 pm (30 kV)
电子枪	标配冷场电子枪
球差校正器	STEM: NEO ASCOR HOAC^2、TEM: CETCOR with DSS^3
校正器自动合轴系统	日本电子NEO JEOL COSMO™ 自动合轴系统、Ad-hock合轴（SIAM）
加速电压	30 ～ 200 kV（标配30、80、200 kV；选配60、120 kV）
无磁场模式	标配洛伦兹模式、放大倍数 ( ×50 ～ 80 k荧光屏为参考面)
样品移动系统	X,Y,Z 轴高精度机械驱动、标配超高精度压电陶瓷驱动
操作类型	RDS^4操作模式^4

*1 装配UHR(超高分辨率)极靴与STEM/TEM球差校正器
*2 HOAC(高阶球差校正器)
*3 DSS(DeScan系统)
*4 RDS(安装室分隔式)