日本电子IB-19520CCP...
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  • 产品规格：

离子加速电压2 ～ 8 kV
离子束直径500 um( FWHM)
研磨速率500 um（两小时的平均值、8 kV、硅材质换算、突出量:100 um）
样品架冷却达到的温度-120 ℃
样品冷却持续时间8小时以上
制冷箱容量约1升
承载样品的zei大尺寸11mm(长) × 8mm（宽）× 3mm（厚）
样品台移动范围X轴：±6mm、Y轴：±2.5mm
固定样品方法夹式
样品加工摆角±30°
加工观察用相机的倍率约20～100倍（6.5寸显示器上）
机械泵: 150 mm（宽） × 427 mm（长） × 230 mm（高）、约16 kg
空气隔离系统转移舱
空气隔离法将舱内设定成氩气气氛，盖上转移舱盖子，将样品封在舱里。
操作方法触控屏、6.5寸显示器
使用气体氩气(用质量流量控制器控制流量)
压力测试潘宁真空计
主抽真空系统涡轮分子泵
辅助抽真空系统机械泵
尺寸、重量主机：约670mm (宽) × 720mm(长) × 530mm(高)、约73kg
机械泵：约150 mm (宽) × 430 mm(长) × 230 mm(高)、约16kg
选配件大型旋转样品架（IB‐11550LSRH)、（IB‐11550LSRH)　
基座样品架 （IB‐11560MBSH)　
大型样品架（IB-11570LSH)　　
喷碳样品架（IB-12510CCH）
电源单相100～120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA
接地线独立地线(100 Ω以下)
氩气使用压力：0.15±0.05 MPa(1.0 ～ 2.0 kg/cm²)
纯度99.9999%以上(氩气、气瓶及调压器由客户自备)
金属配管连接口:JISB0203 RC1/4
室温15～25 ℃
湿度60%以下




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