岛津SXES软X射线分析谱仪参数指标

产品规格：

能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）

获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV

获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV

分光谱仪艙安装位置：

EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）

FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）

分光谱仪尺寸　W 168mm×D 348mm ×H 683mm

* 从接口包括CCD的距离

分光谱仪重量　25kg

适用机型

EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200

SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F