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产品规格
FIB
| 离子源 | Ga （镓）液态金属离子源 |
| 加速电压 | 1～30ｋV（5 kV/步） |
| 放大倍率 | ×60 （用于视场搜索） ×200～×300,000 |
| 图像分辨率 | 5 nm (30 kV) |
| zei大束流 | 60 nA (at 30 kV) |
| 可变光阑 | 12 档(马达驱动) |
| 离子束加工形状 | 矩形、线状、点状 |
| 样品台 | 块状样品用 5 轴测角样品台 X:±11 mm Y:±15 mm Z:0.5 ～ －23 mm T:－5 ～ ＋60° R:360°无限 样品zei大尺寸: 28 ｍｍφ（高度13 ｍｍ）、50 ｍｍφ（高度2 ｍｍ） |
主要附件
气体注入系统 (IB-02100GIS2)
碳沉积圆筒 (IB-52110CDC2)
钨沉积圆筒(IB-52120WDC2)
白金沉积圆筒 (IB-52130WDC2)
侧插式测角样品台 (IB-01040SEG)
束流探测器 (IB-04010PCD)
操作面板(IB-05010OP)
样品台导航系统 (IB-01200SNS)
FIB Tip-on(尖端上可以安装附件的)样品架(EM-02210)
FIB 块状样品用样品架FIB (EM-02220)
FIB 块状样品用样品架1(EM-02560FBSH1)
FIB 块状样品用样品架2 (EM-02570FBSH2)
FE-SEM 样品架适配器 (EM-02580FSHA)
穿梭移动夹头Shuttle Retainer EM-02280 (EM-02280)
原位样品提取系统 (EM-02230)