日本电子JBX-9500FS电...
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产品规格：

电子枪ZrO/W 肖特基型
描画方式圆形束, 矢量扫描, 步进重复式
加速电压100kV
样品尺寸 样品尺寸 (可以安装): zei大300mmΦ的晶圆片, zei大6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小样品。
zei大场尺寸1000µm×1000µm
样品台移动范围260mmX240mm
样品台控制单元0.15nm（λ/4096）
套刻精度≦±11nm
场拼接精度≦±10nm （场尺寸为1000µm×1000µm）
写场内位置精度≦±9nm（场尺寸为1000µm×1000µm）
定位DAC20位
扫描速度zei大 100MHz

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