晶圆专用接触角测量仪参数指标

三·技术规格（Specifications）

（一）晶圆专用接触角测量仪触角测量仪主机：

（1）主机使用高强度航空铝合金结构搭配模块化设计理念，自主研发的集成芯片电路控制，保证仪器以状态运行；

（2）成像部分使用高性能日本原装进口工业机芯及无失真远心镜头确保的成像效果。

（3）工业级可调LED单波长冷光源系统，成像更清晰

（4）自动位移平台，实现Y、Z自动定位测量，定点地位更精确，测量效率更高

规格：

1. 主机外形尺寸：1200mm（长）*600mm(宽)* 670mm(高) 

2. 主机净重：55KG

3. 工作台面尺寸：420mm*420mm

4. 工作台移动：

 前后移动 自动，行程160mm，精度0.01mm
        上下移动 手动，行程20mm，精度0.01mm

1. 进样器移动：自动上下60mm（自动）;  左右30mm

2. 工业镜头移动：前后30mm（微调3mm）

3. 工业镜头：0.7X *-4.5X高清远心连续变倍变焦显微镜

4. CCD：SONY原装进口高速工业级芯片；60帧/S

5. 镜头角度可调试：仰视、平视、俯视多视角观察

6. 光源：LED可调节蓝色基调工业级冷光源；使用寿命达贰万伍仟小时以上

7. 电源及功率：220V / 60HZ

（二）专用分析软件：