描画方式

圆形束斑, 矢量扫描, 步进重复移动方式

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加速电压

100kV

100kV/50kV

电流

5×10^-12　～　2×10^-7A

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写场尺寸

zei大1,000μm×1,000μm

zei大2,000μm×2,000μm 

扫描频率

zei大125MHz

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样品台移动范围

190mm×170mm

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套刻精度

≦±9nm

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场拼接精度

≦±9nm

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正常工作时的功耗

3kVA

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样品尺寸

zei大200mmΦ的晶圆片, 6英寸的掩模版及任意尺寸的的微小样品。

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材料传送

（1张）自动装载系统

（12张）自动装载系统

主要选配件

光学显微镜
  25kV加速电压 
  数据准备程序的追加授权