测量范围
  （mm）

X轴

3000

2500

3000

Z轴

1500

2000

2000

Y轴(范围)

3000～8000

4000～10000

4000～10000

MPEE

（μm）
  L:mm

8+8L/1000
  ~11+11L/1000

7+8L/1000
  ~10+10L/1000

9+10L/1000
  ~13+13L/1000

供气压力

(MPa)

0.6～0.8