技术规格：

• Maximum plasma output zei大等离子体输出： 6kW (160V, 38A)

• Operating pressure 操控压力： 1×10-2 to 1×10-1Pa (Ar, O2, N2 atmosphere)

• Discharge gas(Ar) 放电气体（氩气）： 8 to 20mL/min

• Cooling water 冷却水流速： 7 to 10L/min

• Beam method电子束方法 ：反射电子束和辐射电子束可选selectable from Reflection-beam and Irradiation-beam