赛默飞1160型零气发生器参数指标

流量

1-20L/min

露点

-10℃(膜式干燥器）

-40℃（无热干燥器）

零气纯度

SO₂       <0.1 ppb   NO     <0.1ppb

NO₂       <0.1ppb    O₃     <0.4ppb

H₂S       <0.1ppb    NH₃    <0.1ppb

CO（选项）<0.02ppm   H_XC_X   <0.005ppm