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 全磁浮涡轮分子泵 ATH 1600 MT 技术参数：

 

轴承

五轴控制全磁浮轴承

转速

39000 min-1

对氮气的压缩比

> 1 · 10 8

最大进气压力N2

2.2 hPa

对氮气的抽速

1360 l/s--1600 l/s

启动时间

< 6 min

极限真空度

< 6 · 10-9 hPa

重量

34 (分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg

 全磁浮涡轮分子泵  ATH 1600 MT 对不同气体的抽速：


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