伯东Pfeiffer 分子泵 ...
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涡轮分子泵Hipace 80 技术参数：

分子泵型号

接口 DN

抽速 l/s

压缩比

最高启动压强mbar

极限压力

全转速气体流量hPa l/s

启动时间

重量




进气口

排气口

氮气
N2

氦气He

氢气 H2

氮气
N2

氮气N2

hPa

氮气N2

min

kg


HiPace 80

63

16

67

58

48

> 1X1011

22

< 1X10–7

1.3

1.75

2.4

分子泵应用 Hipace 80
分析仪器：电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析
半导体：PVD、inspection、bonding、MBE、load-locks
工业：医学技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造
研发：核研究、等离子研究、粒子加速器、冷冻研究、纳米技术、生物技术
上海伯东客户分子泵应用一：Hipace 80，Hipace 400 用于分子束外延 MBE，主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。

涡轮分子泵Hipace>

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