伯东公司德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 142参数指标

对氦气的最小检测漏率

〈5.10E-12 mbar l/s

检测模式

真空模式和吸枪模式

检测气体

4He , 3He, H2

响应时间

< 3 min

对氦气的抽气速度

1.3 l/s

进气口最大压力

10 mbar

尺寸

510 X 343 X 428 mm(20.1 X 13.5 X 16.8 inch)

重量

56 kg (123 lbs)