进气法兰

DN 40 ISO-KF

氦气抽速

4.4l/s

最小漏率（氦气）

5x10^-12 hPa l/s

检测模式

真空模式和吸枪模式

进气口最大压力

6 hPa

电源

200-240 V 50/60Hz

启动时间

3min

重量

125kg

尺寸(L x W x H)

594 x 692 x 933mm