对氦气的最小检测漏率

5E-13 Pa m3/s

检测模式

真空模式和吸枪模式

氦质谱检漏仪无油前级泵抽速

1.7m3/h

检测气体

4He , 3He, H2

响应时间

<1s

对氦气的抽气速度

1.1 l/s

氦质谱检漏仪进气法兰

DN 25 ISO-KF

进气口最大压力

15 hPa

通讯接口

RS-232

工作温度

10-40 °C

噪音水平

< 45 dB (A)

尺寸

350 X 245 X 141 mm

重量

21 kg (46 lb)