检测气体

4He, 3He, H2

 最小检测漏率

真空模式: 1X10^-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10^-8 mbar l/s

 对氦气的抽速

10 l/s

25 l/s, 内置2台分子泵

7 l/s

 前级泵抽速

35 m3/h

 进气口最大压力

20 mbar

20 mbar

15 mbar

 无校准的启动时间(20°C)

2 min

2 min

< 4.5 min

 进气口

DN 40 ISO-KF

 响应时间

< 1 s

 Interface,  选配

RS-232, I/O, Ethernet

 噪音

≤ 55 dB (A)

≤ 55 dB (A)

53 dB (A)

 重量

125 kg

130 kg

110 kg

 尺寸(LxWxH)

1072 x 455 x 1025 mm

1072 x 455 x 1025 mm

1065 X 455 X 1025 mm