德国普发+HiPace+分子泵参数指标

参数指标

分子泵 Hipace® 10-800 l/s 技术参数

分子泵型号	分子泵连接尺寸 DN	抽速 l/s	压缩比	最高启动压强 hPa	极限压力	全转速气体流量hPa l/s	启动时间	重量
进气口	排气口	氮气 N2	氦气He	氢气 H2	氮气 N2	氮气N2		氮气N2	min	kg
HiPace® 10	25	16	10	6	3.7	3X106	25	< 5X10–5	0.37	0.9	1.8
HiPace® 60 P	63	16	64	48	28	1X106	4	< 1X10–7	9.2	1.1	2.2
HiPace® 80	63	16	67	58	48	> 1X1011	22	< 1X10–7	1.3	1.75	2.4
HiPace® 300 HiPace® 300 C HiPace® 300 P HiPace® 300 Plus	100	16	260	255	220	> 1X1011	15(控制器TC 110) 20（控制器TC 400）	< 1X10–7	5（控制器TC 110） 14（控制器TC 400）	3.5(TC 110) 1.8(TC 400)	5.8 – 8.2
HiPace® 400 HiPace® 400 P	100	25	355	470	445	> 1X1011	11	< 1X10–7	6.5	2	11.6 – 17.5
HiPace® 700 HiPace® 700P HiPace® 700 Plus	160	25	685	655	555	> 1X1011	11	< 1X10–7	6.5	2	11.5 – 17.4
HiPace® 800 HiPace® 800 P	200	25	790	700	580	> 1X1011	11	< 1X10–7	6.5	2	12.8 – 19.1

普发真空涡轮分子泵代表着安全的性能

现代涡轮分子泵能获得超过 400 米/每秒的圆周速度。这将转化为相应的高转子动能，当转子和定子相触，动能将在瞬间传输到外壳和泵的底座上。因此，泵外壳的稳定性具有至关重要的作用，需经过理论和实际的双重检验。普发真空的涡轮分子泵已通过UL 61010和/或Semi S2认证。除机械安全性能外，该认证同时也包括了防火和转速过高的双重保护，这向认证是由普发真空与TüV Rheinland共同开创的。

我们关注客户利益的核心

在整个生产工艺过程中，真空技术往往是成败的关键因素。在各类生产应用中，因批量故障或生产中断而造成的费用损失甚至可以高达上百万元。因此采用性能稳定可靠的部件显得十分重要。如今，涡轮分子泵的工作时间已经能达到 100,000 小时。这意味着产品能无间断地运行长达11年的时间。在此期间，应尽可能地避免因保养或服务导致的运行中断。普发真空涡轮分子泵具备扩展的自诊断功能，能满足该项需求。通过分析真空泵的相关技术数据，给维修保养工作带来了极大的支持。因此，任何保养都可以提前进行预测，用户可以自主安排保养计划。此外，真空泵油和轴承都可以在现场直接进行更换，更大程度上保障了正常生产运行。涡轮分子泵的集成控制器减少了对繁琐、昂贵的布线需要。一流的驱动技术将能源消耗降低到最少，同时还带有多样化的接口。真空泵具有IP54防护等级设计，符合工业环境应用要求。紧凑型结构设计能满足更小的物理空间安装需求。为将成本最小化，普发真空提供多样化的控制器，供不同型号的泵使用。甚至泵体的重量也是重点考量的因素：抽速为 250 升/每秒的涡轮分子泵重量仅为 6 kg。普发真空涡轮分子泵的应用范围广阔，不仅包括分析仪器、真空工艺和半导体技术，还包括真空镀膜、研发和其他各类工业应用领域。

应用领域

在很多产品制造和工艺研究领域中，真空技术发挥着决定性的作用。涡轮分子泵对于制造极纯工艺条件具有至关重要的作用。

● 分析仪器（质谱分析法、显微镜等）

● 半导体行业（电子组件、集成电路、太阳能电池等）

● 光学/玻璃行业（隔热保护、防反射、反射、滤光镜镀膜等）

● 真空镀膜技术*（表面保护、装饰土层、显示技术、屏幕等）

● 真空冶金（真空焊接、真空烧结、真空合金、真空炉等）

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